HORIBA Smart SE橢圓偏振光譜儀是一種薄膜測(cè)量工具。僅需簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動(dòng)完成樣品測(cè)量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報(bào)告，包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過(guò)率。它是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制的解決方案。為薄膜測(cè)量設(shè)計(jì)，一鍵式操作。
HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀是一種薄膜測(cè)量工具。僅需簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動(dòng)完成樣品測(cè)量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報(bào)告，包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過(guò)率。它是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制的解決方案。為薄膜測(cè)量設(shè)計(jì)，一鍵式操作。
可在450nm~1000nm波長(zhǎng)內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量（<1秒）
多種光斑尺寸軟件選擇
自動(dòng)裝載和調(diào)整樣品高度（需自動(dòng)平臺(tái)）
大面積自動(dòng)成像（需自動(dòng)平臺(tái)）
溫控臺(tái)、液體樣品池、電化學(xué)反應(yīng)池、
密封氣體池、透過(guò)率曲線測(cè)量等多種附件
光斑可視系統(tǒng)：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀具備MyAutoView光斑可視系統(tǒng)，可清晰觀察光滑或粗糙的樣品表面，保證用戶可將測(cè)量光斑定位在樣品目標(biāo)上的測(cè)量位置。
智能診斷：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀儀器維護(hù)非常簡(jiǎn)單，借助完整的操作向?qū)?，自?dòng)檢測(cè)并診斷問(wèn)題，對(duì)故障進(jìn)行處理
靈活多功能選項(xiàng)：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀的入射角度可調(diào)，且可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，具備靈活性。
HORIBA Smart SE 橢偏儀是利用薄膜的光學(xué)特性進(jìn)行膜厚測(cè)量的非接觸測(cè)量方法?；谄窆夥瓷浠蛲干鋾r(shí)的狀態(tài)變化來(lái)測(cè)量薄膜的厚度和折射率。當(dāng)偏振光照射到薄膜表面時(shí)，反射光或透射光的偏振狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化，這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態(tài)和角度。通過(guò)分析這些變化，可以準(zhǔn)確地推導(dǎo)出薄膜的厚度。
橢圓偏振光譜軟件DeltaPsi2功能豐富，它基于WindowsT操作系統(tǒng)，充分利用了HORIBA Scientific（JobinYvon光譜技術(shù)）橢偏儀硬件技術(shù)的特點(diǎn)，具有眾多建模和擬合處理功能，以及簡(jiǎn)單的操作界面，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。
梯度膜層
粗糙度或界面
材料組份/結(jié)晶度
各向異性膜層
薄膜厚度的不均勻性
退偏因子
與材料模型公式相關(guān)的完整的屬性數(shù)據(jù)庫(kù)
對(duì)于厚透明樣品基底背景光的自動(dòng)修正
周期變化結(jié)構(gòu)
用戶超薄薄膜應(yīng)用的BLMC算法
多重猜測(cè)、多重初值、多重模型、相關(guān)性……
表面測(cè)量 | 光學(xué)特性 | 厚度測(cè)量 | |
非晶硅、多晶硅 | 粗糙度 | 光學(xué)常數(shù)（n，k） | 從幾埃到15um |
納米晶體硅 | 自然氧化物厚度 | 光學(xué)帶隙Eg | 單層和多層膜 |
透明導(dǎo)電氧化物 | 表面薄膜厚度 | 透射率 | |
增透膜 | 退偏系數(shù) | ||
半導(dǎo)體 | 平板顯示 | 功能性涂料 | 生物和化學(xué)工程 |
介電薄膜 | TFT | 光學(xué)涂層 | 有機(jī)薄膜 |
金屬薄膜 | OLED | 增透型、自清潔型 | 薄膜吸附 |
高分子、光刻膠 | 等離子顯示板 | 表面鍍膜和處理 | 表面功能處理 |
PZT膜 | 柔性顯示板 | 有機(jī)材料 |
光斑尺寸 | 500μmX500μm,250μmX500μm, 250μmX250μm,100μmX250μm, 150μmX250μm,100μmX500μm, 75μmX150μm | ||
測(cè)試時(shí)間： | 5s，Max1s | 可視系統(tǒng)： | MyAutoView |
更多參數(shù)可聯(lián)系我們獲取 | |||
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