KLA Zeta-388 光學輪廓儀
KLA Zeta-388光學輪廓儀是非接觸式三維表面形貌測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)在Zeta-300光學輪廓儀的基礎(chǔ)上，增加了用于全自動測量的機械手臂操作系統(tǒng)。Zeta-388光學輪廓儀采用ZDot技術(shù)和多模組光學系統(tǒng)，可測量各種不同的樣品：包括透明與不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亞納米級到毫米級的臺階高度。KLA Zeta-388光學輪廓儀支持OCR和SECS/GEM，從而可用于全自動產(chǎn)線的生產(chǎn)制造。
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產(chǎn)品名稱
： 光學輪廓儀 -
品牌
： KLA -
產(chǎn)品型號
： Zeta-388 -
產(chǎn)地
： 美國
