震動隔離系統(tǒng)-防振臺的使用

2023-06-12 14:34:29 admin

1.概況

電鏡和其它精密儀器對環(huán)境震動要求高，例如電鏡要求X、Y、Z方向的低頻震動（0~30Hz）＜6微米；30Hz以上的高頻震動＜12微米.。20Hz以下的低頻震動，對電鏡的干擾影響大。如果超過該指標，電鏡在高倍率（1萬倍以上）照相，就難于得到理想圖像。

普通掃描電子顯微鏡（SEM）當安置到樓房高層（2層以上），或置于有強震動的場地時（例如附近地下有地鐵，），高倍率3萬倍以上觀察、照相就無法進行。而使用震動隔離系統(tǒng)-防振臺。

場發(fā)射電鏡（FEM）要在幾十萬倍觀察和照相，對震動要求更高。即便安裝在一樓，也都不能滿足要求。一般都要求安裝防振臺。

當然，用于電鏡的防振臺更適于其它精密儀器。瑞士Table Stable公司的AVI400型為2個分離單元的隔振墊塊，安裝非常方便。

2.原理

防振臺有2鐘：被動式和主動式的。

被動式的是采用橡膠、金屬彈簧、空氣彈簧等，20Hz以下的低頻震動減震效果很差，在0~20Hz 會增加SEM 的諧振，不被采用。

主動式的是采用3維探測器，檢測3維方向（X、Y、Z）傳來的外部震動，由PID( )控制器產(chǎn)生等幅、反相的控制信號，再由執(zhí)行機構產(chǎn)生等幅、反相的內(nèi)部震動來抵消或減弱外部的震動干擾。

3.選型

瑞士Table Stable公司的執(zhí)行機構-隔振墊塊，是2個長條式的模塊，體積輕巧，體積小，安裝方便，價格適中，國內(nèi)用戶較多。

4.實用效果

客戶的EVO MA 25 SEM安裝在3樓，1萬倍以上照相無法進行。2012年12至今，使用瑞士的AVI-400型防震臺，保證了電鏡的正常使用，10～20萬倍照相，也可以得到滿意圖像。請見如下照片:

圖片關鍵詞

防震前

圖片關鍵詞

防震后

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